基本的な半導体製造プロセスの全体像から、リソグラフィ、エッチング、洗浄・乾燥、イオン注入・熱処理、成膜、パッケージング、検査・測定・試験などの各プロセスを詳細に解説。半導体製造プロセスに興味のある読者だけでなく、技術者にとっても有益な基本情報をまとめた1冊となっています。

こんな方にオススメ
・半導体に関連する仕事をしている人
・半導体製造プロセスに興味のある人

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●先端テクノロジー業界研究同好会　著
●サイズ：A5判
●ページ数：240ページ


【目次】
Chapter 1　半導体とその素材
01　半導体を構成するシリコン
02　半導体の基本原理
03　CMOSトランジスタの基本構造
04　シリコンウェーハの特徴
05　シリコンウェーハの種類
06　シリコンウェーハの製造プロセス
07　化合物半導体ウェーハ
08　半導体の素材を扱う企業

Chapter 2　半導体製造プロセスの概観
01　シリコンが半導体になるまで
02　微細加工技術
03　素子形成工程（1）
04　素子形成工程（2）
05　配線形成工程
06　半導体を完成品に仕上げる後工程
07　プロセスを実現する半導体製造装置
08　中古半導体製造装置も活躍

Chapter 3　リソグラフィ
01　リソグラフィの役割
02　フォトマスクとペリクル
03　レジスト塗布
04　露光
05　レジスト現像／ポストベーク
06　レジスト剥離・除去
07　液浸露光技術
08　ダブル／マルチパターニング
09　最先端を担うEUV露光技術
10　そのほかの露光技術
11　リソグラフィ装置とメーカー
12　リソグラフィ関連材料

Chapter 4　エッチング
01　エッチングの役割
02　ウェットとドライ処理
03　材料特性に応じて最適化
04　エッチングに欠かせないプラズマ
05　等方性・異方性エッチング
06　エッチング装置とメーカー

Chapter 5　洗浄・乾燥
01　洗浄・乾燥技術の役割
02　バッチ式洗浄と枚葉式洗浄
03　RCA洗浄
04　超音波／スクラブ／ドライ洗浄
05　乾燥
06　洗浄・乾燥装置とメーカー

Chapter 6　イオン注入・熱処理
01　イオン注入の役割
02　さまざまなイオン注入プロセス
03　熱処理プロセスの役割
04　さまざまな熱処理技術
05　イオン注入装置とメーカー
06　熱処理装置とメーカー

Chapter 7　成膜
01　成膜技術の役割
02　酸化プロセス
03　熱CVD
04　減圧CVDとプラズマCVD
05　スパッタリング
06　Cu／Low-kプロセス（1）
07　Cu／Low-kプロセス（2）
08　ALD
09　High-k／メタルゲート
10　成膜装置とメーカー
11　成膜関連の主要部材

Chapter 8　CMP
01　平坦化とCMPの役割
02　CMPの主な用途
03　CMPの欠陥と終点検出
04　CMP装置とメーカー
05　CMPに使われる部材
06　そのほかの前工程プロセス・装置

Chapter 9　パッケージング
01　半導体パッケージの役割
02　パッケージング技術
03　パッケージの種類
04　バックグラインディング
05　ダイシング
06　極薄ウェーハのハンドリング
07　ダイボンディング
08　ワイヤボンディング
09　フリップチップボンディング
10　バンプ形成
11　樹脂封止
12　シンギュレーションほか
13　TSV
14　パッケージング装置とメーカー
15　パッケージング関連材料

Chapter 10　検査・測定・試験
01　検査・測定・試験の役割
02　異物やパターン欠陥を検出
03　測長SEM・そのほか
04　電気的特性試験
05　機能・性能試験（1）
06　機能・性能試験（2）
07　信頼性評価試験
08　そのほかの検査・測定・試験技術
09　検査・測定・試験装置とメーカー
10　検査・測定・試験の関連部材

Chapter 11　半導体工場
01　半導体工場とクリーンルーム
02　CIM／MES，AMHS
03　密閉型容器で搬送
04　工場の付帯設備

Chapter 12　製造技術・装置の最新動向
01　半導体製造技術の進展
02　FinFET／GAA
03　チップレット／3D積層
04　製造装置の市場動向
05　日本半導体産業の浮沈
06　“ニッポン半導体”の復権